华力始终坚持可持续发展的理念,致力于发展与环境保护同步、生产与污染防治并举。我们根据“节能、降耗、减污、增效”的清洁生产目标,严控集成电路制造的全过程,加强对生产设备的管理,全面使用低污染低能耗的工艺技术,从源头减少污染物产生,同时不断推进水资源和余热余能的回收利用,进行多项相关技术改造,有效提高能资源利用率。我们还采用成熟的环保处理工艺和设施,将污染物分类分质处理,确保生产过程产生的废水、废气、废弃物等污染物及噪声100%实现有效处置、达标排放。

节能减排 — 热回收

华力工厂配备热回收系统,利用冷却水系统的热量对室外新风进行预热,最大限度回收利用洁净室排放热量,有效节约天然气用量,同时冷却水的降温也减少了冷却塔风扇耗电。

节能减排 — 水回收

华力工厂配备水回收系统。芯片生产过程中使用超纯水进行清洗,相当部分超纯水使用后仅受到轻微污染。我们将这部分工艺清洗废水分别回收处理后再利用,有效节约自来水用量,减少废水排放。
  • 无机清洗废水经回收处理后作为纯水制造过程中预处理水的补水。
  • 有机清洗废水经回收处理后作为冷却塔的补水、废水处理系统的加药补水以及酸性、碱性废气处理装置的补水。

废水处理

华力生产废水分为酸碱废水、含氟废水、研磨废水、含铜废水、有机废水、含氨废水等,分别进入不同的处理系统,处理达标后方可排入市政管网。依据法规要求,我们在废水排放口安装在线监控设施并连线环保部门,定期开展废水环境监测。监测结果公示于上海企事业单位环境信息公开平台。

废弃物管理

华力建立完善的废弃物管理制度。所有废弃物分类收集,定期委托有资质的单位进行处置。危险废弃物相关操作按要求纳入上海市危险废弃物管理信息系统。

废气处理

华力工艺废气分别进入酸性废气、酸性粉尘废气、碱性废气、有机废气处理系统进行处理,处理达标后方可排放。依据法规要求,我们在废气排放口安装在线监控设施并连线环保部门,定期开展废气环境监测。监测结果公示于上海企事业单位环境信息公开平台。

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