上海华力微电子12英寸全自动芯片生产线55纳米工艺产品开始试流片
 2011-04-29 14:59:52

2011年4月29日,华力微电子12英寸全自动芯片生产线55纳米工艺产品开始试流片,标志着这一国家电子信息产业调整和振兴规划确定的重大工程和上海高新技术产业化重大项目建设进入了新阶段。国家发改委、工业和信息化部有关领导,上海市有关方面负责同志出席了启动仪式。


华力微电子12英寸芯片生产线项目是在党和国家领导人的亲自关心下,在华虹集团8英寸集成电路芯片生产线成功运营的基础上,经过多年的积累酝酿和筹备,于2010年年初正式启动的。项目投资总额145亿元人民币,将建设成第一条国资控股、主要面向国内市场与国际合作、90-65-45纳米技术等级、月产3.5万片的12英寸集成电路芯片生产线,验收后将向更高工艺等级迈进。

项目于去年1月19日启动,6月18日取得施工许可证。经过全体建设者的努力,在短短5个月的时间内完成了净化厂房的改造和动力系统主体工程的建设,于去年11月20日实现了首台核心工艺设备光刻机的搬入。之后,项目采用了动力设施施工和设备安装调试平行进行的作业模式,在最短的时间内完成了首期月产能1万片的设备安装调试。

本条生产线配备了硅片全自动搬运系统,这使得华力微电子成为国内首家实现全自动生产的12英寸代工企业。这一由3246米轨道和100台搬运小车组成的系统,每小时能够完成超过1400个搬运指令,相当于单个班次300个以上的人力,不仅搬送平稳快速而且具有100%的准确率。


华力微电子目前已经准备就绪的月产能1万片的设备,充分考虑了技术的延展性,能够较好地满足包括浸没式光刻技术、应变硅技术、金属硬掩模后道互连技术、铜后道大马士革一体化刻蚀技术等先进工艺的要求。在这些设备中,还采购了由上海中微半导体设备公司生产的国产刻蚀设备。在检测设备方面,配备了业界先进的亮场缺陷检测和电子扫描显微镜检测设备。同时,与生产线相配套的生产要素执行系统和产品合格率管理系统也已部署完成。华力微电子预计将在今年三季度完成ISO9001质量体系认证工作。

去年5月,华力微电子与全球最大的独立集成电路研发机构比利时IMEC(欧洲校际微电子研发中心)签订了技术合作协议。华力微电子的研发团队基于IMEC的12英寸试验线,进行了不同状态下4轮器件的工艺参数调试工作,基本形成了华力微电子65纳米和55纳米的工艺方案,制定了相应的工艺流程、技术规格、版图设计规则和器件模型,试流片的关键器件特性已达到了业界同等水平。除了获得IMEC方面授权使用的65纳米工艺平台及相关知识产权外,华力微电子目前正在提交申请的工艺专利已达142项,全年计划将完成500项专利申请。

华力微电子的市场销售团队也与国内外一些一流的设计企业建立起战略性伙伴关系。通过他们的各项产品,这些客户伙伴不仅与华力微电子的生产工艺形成良好的互动关系,而且已向华力微电子提出了超过1万片月产能的生产需求。

华力微电子一直高度重视安全生产和环境保护工作。公司高规格地设置了安环部门,并配备了较强的人员队伍。在项目建设施工一开始,就着力建立健全安全管理体制,根据项目特点建立了10项制度,层层落实安全责任制。安环部严格管控各项特种作业,并对施工人员进行了累计9600人次的安全教育,进行了12次消防演练,项目至今保持了零事故的记录,获得了上海市重大工程建设办公室授予的“2010年度上海市重大工程文明工地”称号。同时,公司严格按照项目可行性研究报告和环评报告中明确的环保要求,按照清洁生产的标准,制定了切实可行的污染防治措施和节水措施,确保本项目建成后的“三废”排放量满足规划控制指标的要求。

基于前期建设和研发的成果以及市场需求,华力微电子决定首批流片就从55纳米的逻辑产品起步。下阶段,将抓紧进行自身设备的工艺验证、客户的产品验证、最终产品的整机验证。在今年下半年完成下一个1万片月产能设备的选型和订购,同时按计划加强员工训练和制度建设,今年4季度开始进入45纳米的工艺研发。公司将在项目3.5万片月产能达产验收后,向更高的工艺等级迈进,为国内外客户提供优质的芯片产品和服务。


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