特色工艺
概述
图像传感器工艺
射频工艺
高压工艺
超低功耗工艺
嵌入式非易失性存储器工艺
独立式非易失性闪存工艺

概述

在逻辑工艺的基础上,华力逐步建立起丰富多样的特色工艺平台,包括图像传感器、射频、高压、嵌入式非易失性存储器工艺(eNVM)、超低功耗以及独立式非易失性闪存工艺(NOR Flash)等,提供客户更广泛的工艺选择。

图像传感器工艺

华力拥有完备的55纳米图像传感器工艺平台,具有大规模量产高端图像传感器芯片的能力。55纳米图像传感器工艺的逻辑工艺采用55纳米低功耗工艺,像素工艺采用高透光率背照式成像技术,并以3D堆叠式结构结合了高速低功耗逻辑图像处理芯片(ISP)与性能优化的像素芯片(pixel),其中针对逻辑图像处理芯片,华力可提供40纳米和28纳米逻辑工艺选择。

华力打造全系列像素图像传感器工艺平台,像素尺寸覆盖10微米到小于0.9微米范围,产品像素分辨率覆盖100万到5000万像素范围,产品应用于智能手机、高端相机、安防监控、车用电子、工控和医疗等。

射频工艺

华力提供与逻辑工艺兼容的射频工艺,技术节点覆盖55纳米、40纳米到28纳米全平台,具有金属氧化物金属电容器(MOM)、高Q电感以及噪声隔离深N阱结构等特色,可以满足无线射频类芯片产品的需要,可广泛应用于物联网、穿戴式设备、居家安全、无线智能仪表及工业控制等产品市场。

工艺器件选择和工艺特点:


高压工艺

华力为中小尺寸屏幕驱动芯片提供了55纳米高压工艺和28纳米高压工艺两种平台解决方案。

55纳米高压工艺:高压采用32V器件,为AMOLED屏提供8V中压器件、为LCD屏提供6V中压器件。满足业界主流的高清分辨率的独立显示驱动芯片、触控和显示驱动集成芯片(TDDI)需求。

28纳米高压工艺:中压采用8V器件,高压采用32V或20V双平台工艺:32V平台提供55/40nm HV到28nm HV快速迁移方案,20V平台进一步优化显示性能和降低功耗。更好的满足智能手机,可穿戴设备,AR/VR等对显示性能和功耗的需求。

超低功耗工艺

华力的55纳米超低功耗工艺基于55纳米低功耗工艺平台开发,核心工作电压降至0.9V,功耗降低约30%,在标准Vt下,55纳米超低功耗的器件性能与55纳米低功耗相同。华力将结合射频工艺以及嵌入式闪存工艺,提供客户完整的物联网芯片方案。该工艺已经广泛的应用于物联定位,NB-IoT等新兴领域。

华力将建立55纳米至22纳米全系列的超低功耗工艺平台,22nm ULP和22nm ULL已进入初步量产阶段。

嵌入式非易失性存储器工艺

华力与业界闪存技术合作方Cypress共同开发55纳米SONOS嵌入式非易失性存储器工艺,为客户提供高可靠性、低功耗和低成本优势于一身的差异化解决方案。相较于其他嵌入式闪存技术需要额外加入9~12张光罩,SONOS技术只需要在原有CMOS工艺上加入4张光罩,具有更好的成本优势以及最佳的可微缩性,具备可持续微缩至28纳米的能力。40纳米嵌入式非易失性存储器工艺已投入研发,并计划开发28纳米嵌入式非易失性存储器工艺。

在55纳米技术节点,华力提供2.5V和5V两种版本的嵌入式闪存工艺平台,2.5V版本主要针对通用微控制器和物联网产品,5V版本主要针对智能卡、金融卡、触控芯片和其他微控制器产品。

55纳米嵌入式非易失性存储器工艺复用55纳米低功耗工艺设计IP,并可提供客制化Flash Macro IP 设计,以及提供Flash IP测试及可靠性全流程服务。

Flash Macro典型参数:

独立式非易失性闪存工艺

华力与国际知名设计公司合作开发65纳米NOR Flash工艺平台,2016年已通过SPI NOR Flash产品验证,并进入大规模量产。65纳米NOR Flash工艺已通过IATF16949认证。在65纳米 NOR Flash的基础上,华力持续微缩工艺尺寸,55纳米和50纳米NOR Flash工艺技术相继量产,广泛应用于智能手机、机顶盒、笔记本、无线连接、数字电视、打印机、真无线蓝牙耳机(TWS)和OLED显示等消费电子产品,以及先进辅助驾驶系统(ADAS)、娱乐与导航系统等汽车电子领域。


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